洛阳磨粒流应用案例——半导体不锈钢内孔抛光

半导体不锈钢管广泛应用于微电子、光电子、生物制药、食品机械等洁净、超洁净管道系统。

半导体用不锈钢管对于内外研磨的要求非常高，内管道要求高精度，超洁净。

对于这一类的不锈钢抛光，可以通过人工抛光的方式达到要求，但是人工抛光精度不高，成本也极高，对于需要量产的产品效率达不到要求。

针对此类产品，只能采用物理研磨的方式进行抛光，化学抛光等方式容易造成化学残留，改变材质本身性能等。

磨粒流工艺是这类工件抛光的最优方案，磨粒流工艺是一种物理研磨，不会改变材质性能，也不会有任何化学残留，最适合这类超洁净管道类加工。

图中是磨粒流工艺的原理演示，

通过挤压软流体的方式在管道内壁进行流动，磨料中的微颗粒，会对管道内壁进行微量切削，以达到去除横向机加工刀纹，去除机加工残留的效果。

磨料的流动方向也与工件工作时内部气体，液体的流动方向一致，也可以极大降低流动阻力。

抛光前抛光后效果对比

抛光前的管道内部，显微镜下有明显的横向刀纹，内壁的粗糙度在Ra0.3左右。经过磨粒流工艺抛光后，刀纹明显消失，内壁的粗糙度在Ra0.05-0.1

磨粒流工艺还可以通过工装来对工件进行批量加工，图中是量产工装夹具示意图。